高精度CNC三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x是一種具有可作三個(gè)方向移動(dòng)的探測(cè)器，可在三個(gè)相互垂直的導(dǎo)軌上移動(dòng)，此探測(cè)器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號(hào)，三個(gè)軸的位移測(cè)量系統(tǒng)（如光柵尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)（x，y，z）及各項(xiàng)功能測(cè)量的儀器。
高精度CNC三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x作為高精度的測(cè)量設(shè)備，其大的優(yōu)點(diǎn)當(dāng)然是精度高，高精度可以達(dá)到1微米，甚至更高。為了保證三坐標(biāo)如此的高精度，高品質(zhì)品牌的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的光柵尺的精度更是達(dá)到了納米級(jí)別，測(cè)量的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)使用的進(jìn)口高品質(zhì)光柵尺的精度就達(dá)到了微米。
高精度CNC三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)就是測(cè)量的特征多，幾乎所有類型的尺寸測(cè)量，三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x都可以進(jìn)行測(cè)量，通過構(gòu)造特征，更是可以對(duì)平面度，圓度，同心度等等進(jìn)行檢測(cè)。
高精度CNC三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x使用的測(cè)量軟件pc－dmis軟件，還可以導(dǎo)入CAD數(shù)模進(jìn)行脫機(jī)檢測(cè)，使三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)不止有測(cè)量特征多，還具有測(cè)量速度快，效率高等優(yōu)點(diǎn)。
因?yàn)楦呔菴NC三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x使用的是測(cè)頭探針進(jìn)行接觸式的測(cè)量，如果工件太細(xì)小，探針無(wú)法進(jìn)行探測(cè)，或者工件為軟薄等材質(zhì)，接觸時(shí)會(huì)發(fā)生變形等等情況，都無(wú)法
使用高精度CNC三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x進(jìn)行測(cè)量。不過隨著三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的發(fā)展，這一缺點(diǎn)正在慢慢的被修補(bǔ)，目前部分三坐標(biāo)廠家，已經(jīng)開始推出復(fù)合式三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x，讓非接觸測(cè)量和接觸式測(cè)量進(jìn)行結(jié)合的一種新型測(cè)量?jī)x器。
